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ベンチャー企業プレゼン:アクアサイエンス株式会社
砂金 養一 様 アクアサイエンス株式会社 代表取締役社長) 

半導体製造工程の洗浄プロセスにおける蒸気およびミストによる洗浄装置の開発・マーケティングのファブレスメーカーを目指しています。製造については海外を含めて、代理店製造委託、サービスの委託を通じて、我々が開発、マーケティングの方にフォーカスしていきます。横浜白山にある横浜ジャーマンセンターにクリーンルームを持ちまして、必要な設備を整えて開発に当たり、ようやく今年から事業の展開を図るということで、今年から黒字に持っていくという段階の会社です。

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スタートアップ

半導体プロセスの中で、レジストの剥離、洗浄において、薬液を使わない新しい技術、我々がやっている蒸気による洗浄は東北大学で生まれて、私がラムリサーチの日本法人の代表をしていた時に、開発の話しが持ち込まれ、ラムリサーチで開発が始まりました。しかし、2001年2002年は半導体大不況で、半導体産業そのものがリストラになりました。そこで、私はこの技術を持って、日本だけではなく今後伸びて行くであろうアジアに展開したいと、スピンアウトし、アクアサイエンスを設立して開発を始めました。研究委託等も大学の力を借りてやってきまして、ようやく芽が出てきて今年から事業展開というフェーズに入っています。

経営陣ですが、私は、社会に出てから半導体業界一筋で、外資系のアプライドマテリアルズから始まって、ラムリサーチ、そしてアクアサイエンスとやってきました。私の仲間も半導体を主体とした人間が集まってやっております。

洗浄工程の位置づけ

半導体は、シリコンを単結晶にしてスライスし、このウェハと呼ばれるものの中に、電子素子、いわゆるトランジスタ、ダイオード、あるいは抵抗などの素子を作り、それに多層配線で回路を作ったものです。LSIとも呼ばれますが、これは、基板の中に素子が100個、あるいは1,000個、モノによっては10,000個以上入ってパッケージされています。そして、あらゆる産業で使われており、携帯電話、時計、ゲーム、テレビ、飛行機などの宇宙産業も、半導体なしでは成り立たちません。

最先端のものは、工程数が250とか300とかございまして、シリコンの中にトランジスタを作る工程は、洗浄から始まり、拡散し、写真製版と呼ばれるレジスト塗布、露光を行って、回路を形成して現像してエッチングする。その後に、要らなくなった感光剤などの洗浄を行いますが、これは、半導体の歩留まりに非常に効いてくるため、重要な工程になっています。

市場規模は、半導体の電子素子がワールドワイドで30兆円、設備産業といわれるところで3兆円、その中で我々が参入しようとしているレジストの剥離・洗浄のマーケットは3000億円の市場になっています。

ビジネススキーム

我々のスキームですが、技術は、主に蒸気を使った洗浄機です。基礎研究については、九州大学や静岡大学の流体力学の先生に研究委託もしています。蒸気を使った洗浄といっても、エッチングの後、化学反応により起こる副生成物(ポリマー)を取るアプリケーションを進めています。CMOSやCCDなどの製造、量産展開しているアジアの中でも、台湾や韓国の客様にアプローチしている段階です。半導体のマーケットも90年代前半は日本のシェアが50%ありましたが、今では半導体の生産は、韓国、台湾、シンガポール、インドというようにアジアに展開しています。我々のビジネスもボリュームを求めると、アジアを求めて行かないといけない。しかし、技術はまだ日本に一日の長があり、最先端では先行していますので、我々も最先端をやっている企業とタイアップしてやっております。

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コアテクノロジー

我々の技術は、薬液を使わず、あるいはブラシを使わずに洗浄するということです。我々の蒸気は、クリーンな蒸気で、ノズルのところで水を混合するのが特長です。水から作った蒸気にまた、水を加えるのはおかしな話と思うかもしれませんが、熱交換を起こすことでマイクロキャビテーションを起こす。キャビテーションは超音波洗浄機などに使われておりますが、超音波を使わずにマイクロキャビテーションを起こすというのがアクアサイエンスの技術です。

よって、原材料は超純水だけですので、ダメージもなく環境負荷もなく、コストも安いという特長を持った技術です。。わかりやすく言うと、同じ液体でも水ではカップヌードルは美味しくできませんが、100℃近くのお湯であれば美味しくできる。蒸気も温度が高くなると無酸素状態になってよく仕事をする。マクドナルドのハンバーガーも全て蒸気で焼いています。蒸気というのは非常に大きなエネルギーを持っている。この蒸気を利用してキャビテーションを起こして、表面にエネルギーを与えることで、もう一つまたクラスタを小さくすることで、膜の中に蒸気を浸透させて接着力を弱め、ミストの物理力で取るというのが、基本的な原理です。その結果として、寸法が0.5ミクロン、これは髪の毛が50ミクロンですので、その100分の1になりますが、そのポリマーをかつては有機溶剤を使った薬品で取っておりましたが、蒸気できれいにするというのが我々の技術です。

もう一つ、これとは違って、今までは高価な硫酸過水やアンモニア過水で行っていた危険な洗浄もラジカルとオゾンを使ってきれいにしようということもやっております。今までの洗浄に比べると、ダメージも少なくクリーンで、膜減りもなく、コストも安いという特長を持っています。硬化層をラジカルで取って、その後にオゾンできれいにするということで、ロジックデバイスを対象にしています。これが我々の技術です。

Q&A

Q)私も半導体の洗浄の話を以前に聞いたことがあるのですが、大手メーカーの洗浄機技術とどのように違うのでしょうか?
A)大手メーカーの技術は、薬品を使った洗浄技術です。これに対して、我々のは薬品を使わないので、コストが非常に安い。また、微細化が進んでくると純度も問題になります。水というのは空気の次に綺麗なもので、今使われている薬品と比べると2桁クリーンです。今後、微細化が進んでくると、薬液自体が使えなくなる。そこに我々の差別化要素があります。

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TSUNAMIアントレプレナーズ倶楽部は、二ヶ月に一回の割合で、アントレプレナーのための勉強会とアントレプレナーあるいはその支援企業のプレゼンテーション、懇親会という形で、倶楽部とメンバーの発展を目指して活動しています。活動状況は、このウェブサイトで、随時報告しております。TSUNAMIアントレプレナーズ倶楽部の今後の展開をお見逃しなく。

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